激发新纪元ASM引领未来模块电源下一代PE2O8碳化硅外延机台

全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。

随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些设备制造商来说，他们越来越需要通过使用更大的晶圆来减少生产成本，并提高效率。此时，碳化硅作为一种关键材料，其应用也得到了加速升级，从小尺寸到中大尺寸转变，加快了技术创新步伐。

得益于其独特双腔设计，以及精确控制沉积过程所带来的优势，PE2O8能提供更高产量和吞吐能力，同时保持高生产效率。这不仅提升了用户操作便捷性，也显著降低了运行成本。此外，该设备还配备了一系列预防性维护措施，以保障长期稳定运行并最小限度地减少停机时间。

目前已有多家全球领先企业接受了这个革新的解决方案。在一次会议上，一位来自ASM公司副总裁兼等离子体与外延业务部门负责人的Steven Reiter表示：“我们正处在一个转折点，每当客户从较小规模向更大规模过渡时，都会面临更加严苛要求。我们的PE2O8已经证明自己是这一领域内的一颗明星——它不仅具有卓越的一致性，而且能够以更低代价改善工艺流程，为客户创造更多价值。”

自2022年以来, ASM一直致力于开发完善单晶片碳化硅外延设备。在这期间, 电动车市场需求激增, 碳基材料良率的大幅提升也促使市场需求急遽增长。

关于ASM成立于1968年的荷兰公司，它同样是全球半导体行业诞生之初，并伴随电子工业迅猛发展至今。经过数十年的努力, ASM成为了ALD、Epitaxy、CVD以及Si and SiC Epitaxy方面世界领军者之一; 在全球16个国家设立分部；其股票在阿姆斯特丹泛欧交易所挂牌交易(代码：ASM)；如果您想要了解更多信息，请搜索“SEMICON China”或访问http://www.asml.com/zh-cn.html