2025-02-14 数码 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件制造，在实现增加产量与降低拥有成本之间取得平衡。此刻，与电源技术论坛紧密合作，一场革命性的改变正在悄然发生——从传统到创新，从效率提升到质量卓越，每一步都向着更美好的未来迈进。
随着电气化趋势不断演进，越来越多的大功率器件制造商选择将碳化硅应用于需求日益增长的大功率设备中，如电动汽车、绿色能源以及先进数据中心等领域。同样，这些行业也对于 碳化硅器件应用提出了更加严格且价格敏感度要求，以此促使从6英寸到8英寸升级加速进行。此外，由于当下更为先进的碳化硅外延技术成熟，该技术让更多大功率器件生产能力得到了增强。
得益于独特双腔设计，PE2O8机台可以通过精确控制沉积方式提高产量与吞吐量，同时保证高生产效率与较低运行成本。此外，该型号还采用了简便预防性维护措施，有助于延长正常运行时间并减少计划内停车次数。
目前已有多家全球行业领导者在使用这款PE2O8机台。在一次发布会上，ASM公司副总裁兼等离子体及外延业务部门负责人Steven Reiter表示：“我们正处在一个关键时期，对付冲击由来自6英寸向更大的转变所带来的挑战。”他指出，“客户对良率、工艺和缺陷控制提出新的标准，而我们的独创腔室设计已经成为业界一份宝贵财富。”
自2022年以来，全力以赴完善单晶片碳化硅设备，并持续探索如何用这些科技改善客户价值。一段时间里，大幅增长的情景让人们认识到了市场潜力：随着电动汽车市场结构性需求增长以及良率提升，使得整个市场见证了巨大的扩张。
作为1969年的荷兰成立的一家企业，与全球半导体行业共同成长并影响电子工业发展史，我们深知每个细节都是为了追求卓越。而今天，我们不仅保持这一承诺，还将其发扬光大。在全球16个国家设立分部后，我们继续致力提供最优质产品给世界各地的人们。如果您想了解更多关于我们，请搜索“SEMICON”或访问http://www.asml.com/zh-cn/newsroom.
