中国电业期刊网独家披露ASM新一代PE2O8碳化硅外延技术革新机台上市

全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。

随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些应用中使用到的碳化硅器件，其生产成本也逐渐成为关注焦点。这促使从6英寸到现在已经开始向更大的8英寸升级转变。此外，由于技术提升，使得制造商能够更有效地制作出更多大功率设备。

通过独特且精确控制沉积过程以提高产量及吞吐量，同时保持其高度紧凑且独立双腔设计以保证高效率生产，并减少运行成本。此外，该模型还采用了一套简便易行但又具有预防性维护措施，以保障长时间稳定运行并减少计划停机次数。

目前已有多家行业领先企业接收到了这款PE2O8机台。在一个关于这一转变关键时期的事实发布会上，Steven Reiter表示：“我们正处在一种重要技术转折点——客户正在从传统的小尺寸晶圆向更加大规模、高性能的大尺寸过渡，这要求新的标准必须被设立。”他继续说，“我们的PE2O8解决方案提供了最好的可能性来提高质量，同时保持或甚至降低成本。”

自2022年起，ASM一直致力于开发完善其单晶片碳化硅设备。伴随着市场增长以及良率提升，它们成为了全球主要市场之一。作为荷兰成立于1960年代初的一家公司，与全球半导体行业共同成长并引领电子工业发展；经过数十年的努力，不仅在ALD、Epitaxy、CVD等领域取得卓越成就，而且建立了遍布全球16个国家分部的地缘分布结构，并在阿姆斯特丹泛欧证券交易所交易（股票代码：ASM）。

如需了解更多关于此事，请访问http://www.asml.com/epitaxy/ 或直接搜索“ASML”。