变频电源激活ASM新机台亮相PE2O8碳化硅外延技术革新

全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。

随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些设备制造商来说，他们越来越需要通过使用更大的晶圆来减少生产成本，并提高效率。此时，碳化硅作为一种关键材料，其应用也得到了加速升级，从小尺寸到中大尺寸转变，加快了技术创新步伐。

得益于其独特双腔设计，以及精确控制沉积过程所带来的优势，PE2O8能提供更高产量和吞吐能力，同时保证高生产效率和较低运营成本。此外，该机台还配备了一系列简便且有效的心维护措施，以避免计划内停机时间，并延长设备运行寿命。

目前，一些全球领先的大规模生产商已经成功部署了这款PE2O8技术，其中不乏一些领导市场中的知名品牌。在一次采访中，由Steven Reiter主持，他表示：“我们正处在一个重要转折点——客户正在从传统的小尺寸向更大的透镜过渡，这意味着他们对质量、工艺标准以及缺陷控制有更多期望。”他继续说道，“我们的新型双腔设计使我们成为这个领域的一家标杆，而我们的产品组合现在更加全面，可以帮助客户以更优惠价格提升他们的事业。”

自2019年以来，全世界都见证了一场巨大的增长——对于每一个参与者来说，都是一次挑战，但也是机会之窗。在此背景下，我们看到公司如何迅速应对变化并进行创新。然而，无论是在哪种情况下，只有那些能够持续投资研发并保持前瞻性的企业才能真正抓住这一波浪潮。这就是为什么ASMTech这样做出反应如此重要，因为它代表了未来行业发展方向。

关于ASMTech，它成立于1969年，是荷兰的一个历史悠久且令人敬佩的地方，那里不仅是科技革命诞生地之一，也是电子工业兴起的地方。经过数十年的探索与成长，如今它已成为ALD、Epitaxy及CVD等领域领导者的位置。今天，它遍布全球16个国家，为来自世界各地客户服务。而如果你想了解更多关于ASMTech的事情，你可以通过微信搜索“ASMTech”或访问http://[官方网站]获取信息。