碳化硅外延革命ASM新机台引领电气工程ei期刊排名榜首

全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件制造，在实现增加产量与降低拥有成本之间取得平衡。

随着电气工程ei期刊排名中电力电子领域不断增长，以及全球能源转型趋势下大功率器件需求激增，来自电动汽车、绿色能源以及数据中心等前沿技术领域对于高性能、低成本碳化硅器件提出了更高要求。此时，由于市场对尺寸从6英寸向8英寸升级加速，这使得更多企业寻求更大的晶圆以提升生产效率，而较新的碳化硅沉积技术则为设备制造商提供了扩大生产能力的手段。

PE2O8机台凭借其独特双腔结构，不仅能精确控制沉积过程，还能够通过优异调控策略提高产量并维持吞吐量稳定。此外，该独立双腔设计不仅保证了高效率，也促进了运营成本的大幅减少。而为了保障长时间连续运行，同时避免计划内停工带来的经济损失，该设备还采用了一系列简便且预防性的维护措施。

目前已有多家行业领导者选用了这个革新型PE2O8系统，并获得显著提升。ASM公司副总裁兼等离子体与外延业务部门负责人Steven Reiter指出：“当前，我们正处于一个关键转折点，对于良率、高度一致性以及缺陷控制标准提出更加严格要求。在这一过程中，我们已经成为行业中的典范，并将我们的创新成果融入到我们产品线中，以提供最优质的一致性，并创造客户价值。”

自2022年以来，ASM一直致力于开发完善单晶片 碳化 硫 外延设备。这股潮流受益于全球对电动车市场需求持续增长，以及不断提高的人工制品质量，使得市场规模迅速扩张。关于先驱半导体公司成立于1969年的荷兰，它与全球半导体行业共同成长并引领电子工业发展壮大。在过去数十年的努力下，他们在原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)、涂层(Epitaxy)、化学气相沉积(CVD)及Si/SiC涂层等领域取得重大突破，并在全球16个国家设立分支机构，其普通股票在阿姆斯特丹泛欧证券交易所交易（代码：ASML）。如需了解更多关于这家科技巨头，请关注微信公众号“SEMICON China”或访问官方网站http://www.asml.com/