2025-02-14 行业资讯 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。
随着电气化趋势不断演进，越来越多功率器件制造商选择将碳化硅应用于需求与日俱增的大功率器件中，这其中就包括电动汽车、绿色能源和先进数据中心等产业。此外，对于能够提供高性能、高效能大功率器件且具备可持续性生产能力设备也提出了更为严格要求。这促使了从6英寸到8英寸升级加速，并催生了一系列具有更大处理能力、能耗效率提升以及技术创新成果的大型设备，如PE2O8这样的高端特种材料加工平台。
得益于其独特双腔设计，可以通过精确控制沉积过程以实现更高产量和吞吐量。而高度紧凑结构不仅保障了高速运行，同时也有效减少了维护时间，从而降低了总体运营成本。此外，该系统还集成了预防性维护功能，有助于提高整体设备使用寿命及减少计划内停工时间。
目前，ASM已向全球多家行业领先者交付此类PE2O8项目，其深受客户青睐。在近期的一次研讨会上，Steven Reiter副总裁兼等离子体和外延业务部门负责人表示：“我们正处在一个关键时刻，因为市场对于良质、大规模生产并且具有竞争力的原材料有着极大的期待。”他进一步指出，“我们的目标是成为这一领域最具影响力、创新驱动且能够提供解决方案的一员。”
自2022年以来，一直有规划进行开发与完善单晶片制程——这是公司历史上的一个重大转变。伴随着电动汽车市场结构性增长，以及对良品率提高以及新的零部件标准要求所做出的努力，这个领域已经经历了一次快速增长阶段。关于公司自身，我们可以看到它早已成为全球半导体工业中的领导者之一，而这一次又一次地证明其作为这个行业不可或缺的一部分。在未来的几个月里，我们期待继续观察这些科技巨头如何继续推动边缘计算技术、5G通信网络以及其他关键领域向前发展。
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