2025-02-14 行业资讯 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体在深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）上亮相，并在国际化合物半导体产业发展论坛上展示了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。这款标杆性外延机台专为满足先进碳化硅功率器件制造需求而设计，其独特技术可提供低缺陷率和高工艺一致性，使其能够广泛应用于各类碳化硅器件生产，同时实现产量提升与成本降低。
随着电气化趋势不断演进，大功率器件制造商越来越多地选择将碳化硅应用于需求增长迅速的大功率器件中，如电动汽车、绿色能源和数据中心等领域。此外，对于碳化硅器件应用成本要求不断下降，这促使从6英寸到8英寸升级加快，以及对于更大功率设备能力提出了更高要求。得益于当下的更为先进碳化硅外延技术，设备制造商也能制作出更加大规模且性能卓越的设备。
PE2O8机台通过精确控制沉积过程，不仅提高了产量与吞吐量，而且由于高度紧凑且独立双腔设计，它们能够保证高生产效率并保持较低运行成本。此外，该机台还实施了一系列简便预防性维护措施，有助于减少计划内停机时间，并有效提高整体运营效率。
目前，ASM已经向全球多家行业领导者交付了PE2O8安装服务。Steven Reiter公司副总裁兼等离子体和外延业务部门负责人表示：“当前，我们正处在一个关键时期，在这一转折点上，我们需要面对新的挑战，比如良率、工艺稳定性以及缺陷控制方面。我相信我们的创新产品将成为解决这些问题的手段。”
自2022年以来，ASM一直致力于开发完善单晶片铝基二氧四烯（SiC）材料处理技术。在电动车市场结构性的增长以及SiC材料良率持续提升的情况下，SiC成长市场正在经历快速扩张之旅。而作为全球最大的ALD供应商之一，与全球半导体行业共同成长并引领电子工业兴起的一员，是我们不懈努力的事实象征。
截至目前为止，公司已建立分部在世界16个国家及地区，并拥有超过10000名员工。在阿姆斯特丹泛欧证券交易所交易（股票代码：ASML），如果您想了解更多关于先驱半导体信息，请搜索“ASM 先驱半导体”或访问http://www.asml.com/
