碳化硅外延机台启航ASM推出PE2O8新技术开关电源工作原理详解

全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。

随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些应用中使用到的碳化硅器件，其生产成本也被提及为一个重要问题，从而促使从6英寸到现在更大的升级加快。此外，由于近期技术提升，更大功率设备制造能力得到了显著提高。

由于其独特双腔设计，可以精确控制沉积过程，从而达到更高效能，并且因为其紧凑结构保证了高效生产以及较低运行费用。此外，该设备还采纳了一系列简便预防性维护措施，以此来保护长时间运转并减少停工时间。

目前已有多家全球领军企业收到了这个PE2O8设备。这次发布时，ASM公司副总裁兼等离子体与扩散业务部门负责人Steven Reiter表示：“我们正处在关键技术转变时期。客户正在逐步从六吧行走向八行，这将对良率、工艺和缺陷控制提出更严格要求。通过我们的创新腔室，我们已经成为这一领域的一流标准。而随着PE2O8设备推出，我们相关产品组合又得到进一步完善，让我们能够以更低成本改善制程，同时创造更多价值。”

自2022年以来, ASM一直致力于开发和完善单晶片碳化硅外延设备。在电动车市场需求增长以及同比提升良率的情况下, 碳基材料市场已经呈现快速增长趋势。

关于先驱半导体成立于1968年的荷兰公司，与全球半导体行业共同成长，并引领电子工业兴起经过五十余年的发展, ASM取得了卓越成就，如原子层沉积(Atomic Layer Deposition)、扩散(Epitaxy)、化学气相沉积(CVD)等领域。在全球16个国家设立分部并在阿姆斯特丹泛欧证券交易所交易股票代码：ASM。如果您想了解更多关于先驱半导体信息，请微信搜索“ASMSemiconductor”或访问http://www.asml.com/zh-cn/about-asml/careers.html