2025-02-14 数码 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。
随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些设备制造商来说，他们越来越需要通过使用更大的晶圆来减少生产成本。这就促使了从6英寸到现在已经开始向更大的8英寸升级加快。此外，由于技术提升，使得制造者能够制作出更大功率的大规模集成电路，也进一步加速了这个过程。
PE2O8这款设备凭借其独特双腔设计，可以精确地控制沉积过程，从而提高了产量和吞吐量，同时也保证了较高效能以及运行成本下降。此外，该设备还采用了一系列简便且预防性的维护措施，以此来保障长时间连续运作并减少计划停工时间。
目前已有多家全球领先的地面部队交付并在使用这款PE2O8。在一次采访中，Steven Reiter副总裁表示：“我们正处在一个关键转折点——客户正在逐步从传统的小尺寸向更大尺寸过渡，这要求对良率、工艺流程及缺陷控制提出更加严格标准。而我们的创新腔室设计让我们成为行业内技术的一员，而新的PE2O8则是这一进程中的又一步骤。”
自2022年以来，我们一直致力于开发完善单层薄膜沉积系统，并伴随着市场需求增长以及材料质量提升，这个市场已经呈现出显著增长趋势。关于公司历史，我们可以追溯到1969年，当时作为荷兰电子工业的一部分诞生，并经历数十年的发展，如今已经遍布全球16个国家与地区，并在阿姆斯特丹泛欧证券交易所上市（股票代码：ASM）。如果你想了解更多关于我们的信息，请关注微信公众号“ASM先创半导体”或访问http://www.asml.com/zh-cn.
