2025-02-14 数码 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。此外，该机台还具备高效率、低缺陷率以及优异的工艺一致性，是满足先进碳化硅功率器件制造需求的一款标杆性产品。它广泛应用于各种碳化硅器件制造中，在保证质量的同时实现生产效率与成本控制。
在2024年10月16至18日举办于深圳首届湾芯展（SEMiBAY 2024）期间，ASM公司作为国际化合物半导体产业发展论坛上的重要参与者，将其最新研发成果——PE2O8双腔机台正式向全球展示。这款专为满足先进电气设备领域对高性能、高稳定性的要求而设计的创新型设备，不仅能够提高生产力，还能通过精确控制沉积过程来减少缺陷，从而提供更优质、更经济实惠的地位。
随着电气化趋势不断深入发展，如电动汽车、绿色能源和数据中心等领域对于大功率器件所需材料和技术提出了新的挑战。因此，对于利用碳化硅材料制造大功率器件这一趋势，以及市场对于此类材料价格敏感度日益增长，这种升级换代之风将继续推动行业前沿技术研究与开发。在这样的背景下，ASM公司以其独特的人才团队和丰富经验，为客户提供了这次又一次突破性的解决方案。
值得一提的是，由于其双腔设计，可以在精确控制沉积过程的情况下进行工作，使得PE2O8具有较高产量和吞吐量，同时也保证了较小空间占用及运行成本降低。此外，该设备配备了一系列预防性维护措施，以最大限度地减少停运时间，并延长设备使用寿命。
目前，多家全球领先企业已经从ASM获得了这种PE2O8型号 碳化硅外延机台。这表明，无论是在提升质量还是节约成本方面，这款新型技术都已经被证明是可行且有效的。而据Steven Reiter - ASM公司副总裁兼等离子体和外延业务部门负责人表示：“我们相信，这些改进不仅能帮助我们的客户克服当前面临的一些挑战，而且还能为他们未来的成功打下坚实基础。”
自2019年以来，基于市场对高性能、高效能电子元件需求不断上升，以及对零缺陷标准越来越严格，对磷酸盐二氧化锂（AlPO₄）薄膜处理能力提升需求增大的情况下，一直有观点认为：未来半导体工业将更加依赖到这些特殊化学品，并且需要快速响应市场变化以保持竞争力。正如这些预测所言，现在我们看到更多关于如何提高生产速度、降低成本并保留或甚至超越现有标准成为焦点讨论话题之一。
总结来说，全新推出的PE2O8碳化硅外延机台不仅代表了一个新的里程碑，也标志着一种全新的时代开始，它将带给用户无可匹敌的情报优势，使他们能够迅速适应那些持续变化中的市场环境，而不会落后于竞争者一步。在这个快速变革期内，与众不同的策略需要支持这样一种转变，因此，我们期待见证更多惊喜出现，同时也希望所有参与者都能从其中受益匪浅。
