2025-02-14 科技 0
全新推出的PE2O8碳化硅外延机台是对行业领先的ASM单晶片碳化硅外延机台产品组合（包含适用于6英寸晶圆的 PE1O6 和适用于8英寸晶圆的 PE1O8）的进一步增强。该机台采用独立双腔设计，兼容6英寸和8英寸晶圆，可实现增加产量的同时，降低成本。2024年10月16至18日，ASM先晶半导体亮相于深圳举办的首届湾芯展（SEMiBAY 2024）。在国际化合物半导体产业发展论坛上，ASM推出了最新推出的适用于碳化硅外延的新型双腔机台PE2O8。该产品专为满足先进碳化硅功率器件的制造需求而设计，是一款拥有低缺陷率和高工艺一致性的标杆性外延机台，可广泛应用于各类碳化硅器件的制造，在实现增加产量的同时，降低拥有成本。
随着电气化趋势不断演进，对于大功率器件需求与日俱增，这其中包括了电动汽车、绿色能源和数据中心等多个领域。而对于这些应用中使用到的碳化硅器件，其生产成本也逐渐成为关注焦点。这促使从6英寸到现在更大尺寸如8英寸甚至更大的升级加速。此时，与之紧密相关的是更加先进技术支持下的设备制造能力提升得以显现。
得益于独特双腔设计，可以通过精确控制沉积过程，更高效地提高产量和吞吐量，同时保持高度紧凑结构以保障高生产率并减少运行成本。此外，该设备还配备了简便预防性维护措施，以确保长时间稳定运行，并减少不必要停工时间。
目前，ASM已向全球多家业界领先企业交付了这款PE2O8机台。Steven Reiter副总裁兼等离子体与外延业务负责人表示：“我们正处于一个关键技术转变期。在此背景下，我们成功将新颖腔室设计融入我们的产品组合，使我们成为了这个领域内工艺一致性的标准者。而今次推出的PE2O8，则是这一系列更新的一部分，它能提供更好的工艺控制并创造更多价值。”
自2022年起，由公司全新的规划下建立的一个专门部门一直在开发完善单晶片碳化硅外延设备。在电动汽车市场结构需求增长以及良率提升的情况下，该市场已经经历了一段快速增长阶段。
关于先克半导体成立于1968年的荷兰公司，与全球半导体行业共同成长，并影响了电子工业的大幅度发展。经过五十多年的努力，ASM在ALD、Epitaxy、CVD、Si and SiC Epitaxy等领域取得了卓越成就。截至目前，全世界共有16个国家设立分部，并且其普通股票在阿姆斯特丹泛欧证券交易所进行交易（股票代码：ASM）。欲了解更多信息，请微信搜索“SEMICONDUCTOR ASSEMBLY AND MATERIALS”或访问http://www.asml.com/
